此字始见于战国文字。战国文字「蚀」作「」,从虫、人、食,与篆文构形相同。「蚀」之本字作「」,《说文‧虫部》:「,败创也。从虫、人、食,食亦声。」段注:「败者,毁也;创者,伤也,毁坏之伤。有虫食之,故字从虫。」并谓「字或作『蚀』」。从虫,表示虫为啮食者;从食,表示啮食,兼表音读。会合遭虫齧食之义,本义为虫子啮损。在六书中属于形声兼会意。教育部标准字以「蚀」为正字,以「」为异体。规范字作蚀。