此字始见于战国文字。从战国文字到篆文、隶书、楷书,皆从土、从臤。战国、秦汉简帛文字,臤所从的「又」有的替换为「攴」,「土」旁有的替换为「?」;所从之「臣」作「」,中笔贯穿上下,与篆文小异,至晋、唐碑刻始定形为「」,而篆文「臣」字即今楷书之所本。段注本《说文‧土部》:「土刚也。从臤、从土。」本义为土地坚硬。《说文》以为从臤、从土的异文会意。实则「坚」字从土,表示与土质相关;从臤表示音读,兼表「臤」字本有的「坚固」、「坚硬」义。在六书中属于形声兼会意。规范字作「坚」,所从的「臤」作「」,是偏旁类推。教育部标准字作「坚」。