此字始见于篆文。《说文‧土部》:「埃,尘也。」篆文从土、矣声。从土,表示与尘土之义相关;从矣,表示音读,此是不示义的声符。本义是尘土、灰尘。在六书中属于形声。西汉张家山汉简「埃」字构形与篆文同,楷书正承篆文楷化,而《隶辨》引〈孔彪碑〉「埃」所从声符「矣」,「矢」隶变作「夫」,写成「」,至隋唐五代,碑刻隶书仍多作此形。今教育部以「埃」为正字,以「」为异体。