此字晚出，始见于隶书。《说文》有「薶」无「埋」，「埋」之本字为「薶」。《说文‧艸部》：「薶，瘗（ㄧˋ）也。从艸、貍（ㄇㄞˊ）声。」段注：「《周礼》假借『貍』字为之，今俗作『埋』。」《玉篇‧土部》：「埋，藏、瘗。与『薶』同。」又「薶，瘗也。与『埋』同」，「埋」、「薶」互为异体，而《干禄字书‧平声》：「埋、薶，上通、下正。」以「薶」字为正字，「埋」为异体。今则教育部标准字、规范字都写作「埋」。甲骨文有
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等字，像置牛、羊、犬等于地坎之中，并缀以尘土，在六书中属于异文会意。学者以上古祭礼有掘地及泉，坎牲置于土凵（坎），用土复掩牲体，以祭祀山林之神，见于《周礼‧大宗伯》，因以「薶」字当之，或读为「坎牲」之「坎」。「埋」字从土、貍省声。薶瘗用以祭地，故从土；从貍表示音读，兼表用土掩复坎牲。本义指古代坎牲、薶牲之祭地仪节。在六书中属于形声兼会意。
