造字法为形声：从矢、以声。基本汉字。
矣，读yǐ，为中国古代文言助词，用于句末，与“了”相同。在矣作通假时，通“也”。此外，矣也是一个姓氏，主要分布在我国云南一带。
字形演变过程：
字形始见于战国金文，从矢、丩声，中山王器一见，文例作「閈于天下之利矣」，见已用为语尾词。战国竹简「矣」字改从「以」声，亦习见用为语尾，特别是秦简已一改用于句末语词。篆文字形因承楚简文字。《说文》：「矣，语已词也。从矢、㠯声。」段注：「已矣叠韵。已，止也。其意止，其言曰矣，是为意内言外。」隶书字形则受秦简文字影响形讹转从厶。楷书后承接隶书的写法，相承迄今。在六书中属于形声。
金文：
說文小篆：
六书通：
