甲骨文的形构上半作鬼头,下半从女。金文及篆文字形或从女、鬼声而作媿,或从心、鬼声而作愧。战国文字及隶书作从女、鬼声,仅行款有下行上声与左形右声之别。作媿者本为姓氏之专字,借用为惭愧字。楷书以降,愧字专行。从心,表示与心境相关;鬼声,表示音读。在六书中属于形声。